第371章 鹊桥 (3 / 8)
梁孟松用手指指了指仿佛存在办公室空气中的CG-1光刻机:“但现在我们面对的是什么?是CG-1的超构透镜。
这套系统对温度和振动的敏感度极高,一个微小的气流变化,都会在微秒级的时间内导致几纳米到几十纳米的焦点漂移。
我们的动态补偿系统,必须在微秒级内完成:数据采集到预测模型计算再到微致动器物理移动的全过程。
这要求致动器本身具有超低延迟、超高精度的响应能力。
传统半导体设备上的致动器,根本达不到这个速度和精度要求。
这其中不仅仅需要算法上的革新,同样需要设备层面的革新。”
梁孟松语速很快,话题跳跃的同样很快,聪明人之间的交流就是要更轻松。
梁孟松最后的话语带着强烈的工程警告意味:“CG-1的超构透镜的物理特性,意味着它的补偿路径,比传统光刻机更复杂、更非线性。
这套系统是人类在DUV上的极限尝试,它的不稳定性是内生性的,而不是简单的外在干扰。
我们等于是要制造一个能预知自己‘失衡’,并在失衡发生前就完成‘平衡’的超级复杂系统!”
他看向林燃,总结道:“林总,从难度上来说,这件事的难度甚至要比我们过去从零开始EDA软件还要难得多。
这个鸿沟,远远不是CMP或刻蚀那种级别的动态修正可以相比的。”
林燃点了点头:“当然,我当然知道,你知道的,我同样知道。
想要独立于整个西方世界做出一整套的半导体生产制造体系,这本身就是在做一件不可能完成的事情。
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这套系统对温度和振动的敏感度极高,一个微小的气流变化,都会在微秒级的时间内导致几纳米到几十纳米的焦点漂移。
我们的动态补偿系统,必须在微秒级内完成:数据采集到预测模型计算再到微致动器物理移动的全过程。
这要求致动器本身具有超低延迟、超高精度的响应能力。
传统半导体设备上的致动器,根本达不到这个速度和精度要求。
这其中不仅仅需要算法上的革新,同样需要设备层面的革新。”
梁孟松语速很快,话题跳跃的同样很快,聪明人之间的交流就是要更轻松。
梁孟松最后的话语带着强烈的工程警告意味:“CG-1的超构透镜的物理特性,意味着它的补偿路径,比传统光刻机更复杂、更非线性。
这套系统是人类在DUV上的极限尝试,它的不稳定性是内生性的,而不是简单的外在干扰。
我们等于是要制造一个能预知自己‘失衡’,并在失衡发生前就完成‘平衡’的超级复杂系统!”
他看向林燃,总结道:“林总,从难度上来说,这件事的难度甚至要比我们过去从零开始EDA软件还要难得多。
这个鸿沟,远远不是CMP或刻蚀那种级别的动态修正可以相比的。”
林燃点了点头:“当然,我当然知道,你知道的,我同样知道。
想要独立于整个西方世界做出一整套的半导体生产制造体系,这本身就是在做一件不可能完成的事情。
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